工作原量
任何形状都是由三维空间点组成的，所有的几何量测量都可以归结为三维空间点的测量，因此 地进行空间点坐标的采集，是评定任何几何形状的基础。
坐标测量机的基本原理是将被测零件放入它允许的测量空间范围内， 地测出被测零件表面的点在空间三个坐标位置的数值，将这些点的坐标数值经过计算机处理，拟合形成测量元素，如圆、球、圆柱、圆锥、曲面等，经过数学计算的方法得出其形状、位置公差及其他几何量数据。
在测量领域中，光栅尺及以后的容栅、磁栅、激光干涉仪的出现，革命性地把尺寸信息数字化，不但可以进行数字显示，而且为几何量测量的计算机处理和控制打下基础。
三坐标测量仪可定义为“一种具有可作三个方向移动的探测器，可在三个相互垂直的导轨上移动，此探测器以接触或非接触等方式传送讯号，三个轴的位移测量系统 ( 如光学尺 ) 经数据处理器或计算机等计算出工件的各点坐标(X、Y、Z)及各项功能测量的仪器”。三坐标测量仪的测量功能应包括尺寸精度测量、定位精度测量、几何精度测量及轮廓精度测量等。
三坐标操作的基本步骤
1、测头校验
测头校验是三坐标测量机进行工件测量的三坐标测量 步，也是很重要的一步。在测头校验的过程中，我们要做的是根据工件形状、尺寸选择合适的测头、测针，现在主流的测头测针都是雷尼绍的，在测量软件中会有匹配。选好后，我们还要进行校准，以达到测量所要求的精度。
2、建坐标系
建立工件的坐标系，如果有工件的模型的话，也要建模型坐标系，然后把工件坐标系与模型坐标系拟合。建坐标系三个要素是：一要确定一个基准平面，二要确定一个平面轴线，即X轴或者Y轴，三要确定一个点，作为坐标原点。
3、工件测量
坐标系建好后就可以进行正常的测量了，工件测量大体分为一下步骤：
先，对工件进行分析，对工具的基本元素进行测量。点、线、面、圆、圆柱、圆锥等。
然后，就是根据工件的形状，用基元素进行形状的公差分析。
后，根据要求输出检测报告。